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KLA台阶仪P7

2020-07-31 返回列表

  KLA台阶仪P7

  Tencor P-7为生产和研发环境提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度,粗糙度,弯曲度和应力进行2D和3D测量,以进行长达150mm的扫描而无需缝合。

  Tencor P-7建立在市场领先的Tencor P-17台式手写笔轮廓分析系统成功的基础上。它在一个平台上包括P-17技术的卓越测量性能,该平台为台式测针轮廓仪提供了极高的性价比。Tencor P-7测针轮廓仪支持2D和3D测量台阶高度,粗糙度,弯曲度和应力,以进行长达150毫米的扫描而无需缝合。

  台阶高度:纳米至1000µm

  恒定力控制下的低力:0.03至50mg

  扫描样品的整个直径而无需缝合

  视频:5MP高分辨率彩色摄像机

  电弧校正:消除由于笔的电弧运动引起的误差

KLA台阶仪P7

  软件:易于使用的软件界面

  生产能力:具有定序,模式识别和SECS / GEM的全自动

  台阶高度:2D和3D台阶高度

  质地:2D和3D粗糙度和波纹度

  形式:2D和3D弓形

  应力:2D和3D薄膜应力

  缺陷检查:2D和3D缺陷表面形貌

  产业领域:

  大学,研究实验室和研究所

  半导体和化合物半导体

  LED:发光二极管

  太阳能的

  MEMS:微机电系统

  数据存储

  汽车行业

  医疗设备

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